【rtp快速退火爐】是一種簡易相對穩(wěn)定的熱處理系統(tǒng)，采用先進的紅外線加熱管進行加熱，造型新穎結構合理，爐體和爐管可以隨意滑動，可快速完成升降溫。爐管內(nèi)尺寸130MM，就可以直接放下5英寸的材質(zhì)。試樣反應區(qū)處于一個密閉的石英腔體內(nèi)，在實現(xiàn)生產(chǎn)工藝流程工作的同時，也大大降低間接污染試樣的概率。

【rtp快速退火爐】基本功能和優(yōu)勢：

1、可視化效果7寸觸摸顯示屏，設置數(shù)據(jù)和實際操作都是圖文界面，操作簡便；

2、爐體配備高精度工作平臺，運行平穩(wěn)無抖動；

3、爐管可以自由移動，且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接，放、取物料方便快捷，防止了螺栓密封人為實際操作導致漏氣的可能性；降低了因組裝法蘭而導致加熱管受損的可能性；當爐管退出爐膛時冷確風扇運行，可以實現(xiàn)試樣的快速減溫，滿足材質(zhì)驟冷驟熱的實驗規(guī)定；

4、爐膛采用先進的多晶纖維真空吸附制成，采用先進的紅外線加熱管進行加熱，使用期限可達5000小時，升溫速度快，溫度可達1050℃。

5、預留出真空、氣路快速端口，可搭配我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用；

6、預留出485轉(zhuǎn)換接口，可以通過我司專用程序，與計算機互聯(lián)，可以實現(xiàn)單臺或者多臺電爐的遠程控制、動態(tài)追蹤、瀏覽記錄、輸出報表等多種功能；

7、設置超溫報警并斷電，漏電保護，實際操作安全穩(wěn)定。

【rtp快速退火爐】主要用途：

1、離子注入/接觸退火；

2、快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN)；

3、可以在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環(huán)境下使用；

4、SiAu,SiAl,SiMo合金化；

5、低介電材料；

6、晶體化，致密化；

7、太陽能電池片鍵合。