干/濕法刻蝕
干法刻蝕是用等離子體進行薄膜刻蝕的技術。
濕法刻蝕是將刻蝕材料浸泡在腐蝕液內進行腐蝕的技術。
適用產品：On Wafer WLS無線晶圓測溫系統(tǒng)、On Wafer WHS無線晶圓測溫系統(tǒng)、AGS晶圓型間隙量測片、VMS晶圓型厚度量測片
