On Wafer WLS-WET無(wú)線晶圓測(cè)溫系統(tǒng)是半導(dǎo)體先進(jìn)制程監(jiān)控領(lǐng)域的重要?jiǎng)?chuàng)新成果。該系統(tǒng)通過(guò)自主研發(fā)的核心技術(shù)，將溫度傳感器嵌入晶圓集成，實(shí)現(xiàn)了晶圓本體與傳感單元的無(wú)縫融合。傳感器采用IC傳感器，具備±0.1℃的測(cè)量精度和10ms級(jí)快速響應(yīng)特性，可實(shí)時(shí)捕捉濕法工藝中瞬態(tài)溫度場(chǎng)分布。 相較于傳統(tǒng)熱電偶接觸式測(cè)溫，該系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了非接觸、全域化、原位測(cè)量，可完...
在半導(dǎo)體制造中，工藝溫度的精確控制直接關(guān)系到晶圓加工的良率與器件性能。傳統(tǒng)的測(cè)溫技術(shù)（如有線測(cè)溫）易受環(huán)境干擾，難以在等離子刻蝕環(huán)境中實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。On Wafer WLS無(wú)線晶圓測(cè)溫系統(tǒng)通過(guò)自主研發(fā)的傳感器集成技術(shù)，將微型溫度傳感器直接嵌入晶圓載體（wafer），實(shí)現(xiàn)了對(duì)制程溫度的原位、實(shí)時(shí)、全流程監(jiān)控。 該系統(tǒng)的核心突破在于DUAL SHIELD技術(shù)，解...
晶圓在傳輸和搬運(yùn)過(guò)程中因振動(dòng)、碰撞導(dǎo)致的良率損失和設(shè)備停機(jī)問(wèn)題，一直是困擾行業(yè)的痛點(diǎn)。AVS 無(wú)線校準(zhǔn)測(cè)量晶圓系統(tǒng)，正是針對(duì)這一難題設(shè)計(jì)的革命性解決方案。 AVS 無(wú)線校準(zhǔn)振動(dòng)測(cè)量晶圓系統(tǒng)通過(guò)專業(yè)技術(shù)將多個(gè)傳感器模塊集成到晶圓上，在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，利用AVS 三軸加速度對(duì)晶圓、 晶圓傳輸盒、晶圓裝載與檢測(cè)集成裝置SMIF 以及晶圓盒 FOUP 的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行觀...
瑞樂(lè)半導(dǎo)體 AVS 晶圓型振動(dòng)量測(cè)片 AVS晶圓型振動(dòng)量測(cè)片通過(guò)專業(yè)技術(shù)將多個(gè)傳感器模塊集成到晶圓上，在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，利用AVS三軸加速度對(duì)晶圓、晶圓傳輸盒、晶圓裝載與檢測(cè)集成裝置SMIF以及晶圓盒FOUP的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行觀察和優(yōu)化，通過(guò)適用于真空環(huán)境的AVS實(shí)時(shí)震動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)在不中斷機(jī)臺(tái)操作狀態(tài)下監(jiān)測(cè)晶圓的滑動(dòng)、滑移、碰撞、刮傷和粗暴搬運(yùn)情況，當(dāng)檢測(cè)到晶...
瑞樂(lè)半導(dǎo)體 AVLS 晶圓型振動(dòng)水平測(cè)量校準(zhǔn)片 AVLS晶圓型振動(dòng)水平測(cè)量校準(zhǔn)片通過(guò)專業(yè)技術(shù)將多個(gè)傳感器模塊集成到晶圓上，能夠快速測(cè)量加速度、振動(dòng)、水平、調(diào)平角度等參數(shù)，實(shí)時(shí)水平檢測(cè)系統(tǒng)能夠快速測(cè)量晶圓載盒、FOUP、晶圓自動(dòng)化搬運(yùn)機(jī)械手、晶圓校準(zhǔn)設(shè)備、裝載鎖、晶圓頂針和工藝腔底座的傾斜度參數(shù)；實(shí)時(shí)震動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)在不中斷機(jī)臺(tái)操作狀態(tài)下監(jiān)測(cè)晶圓的滑動(dòng)、滑移...
瑞樂(lè)半導(dǎo)體 AMS 晶圓型多功能測(cè)試片 AMS 無(wú)線晶圓校準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)通過(guò)專業(yè)技術(shù)將多個(gè)傳感器模塊集成到晶圓上，能夠快速測(cè)量加速度、振動(dòng)、水平、調(diào)平角度、濕度、溫度等參數(shù)， 幫助提高半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)設(shè)備的調(diào)試效率，AMS 在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的應(yīng)用有助于提升設(shè)備的調(diào)試效率和生產(chǎn)過(guò)程的控制精度。 一、產(chǎn)品應(yīng)用范圍 晶圓傳輸檢測(cè)、天車傳輸監(jiān)測(cè)、AMHS晶圓搬運(yùn)監(jiān)測(cè)、溫濕度檢...
瑞樂(lè)半導(dǎo)體 ATS 晶圓型中心校準(zhǔn)片 ATS 無(wú)線晶圓校準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)將機(jī)器視覺(jué)及傳感器模塊集成到晶圓上，實(shí)現(xiàn)捕獲偏移數(shù)據(jù)（x 軸、y 軸），以快速校準(zhǔn)晶圓傳輸位置，在半導(dǎo)體制程中提供精確的晶圓定位。 一、產(chǎn)品應(yīng)用范圍 晶圓頂針、晶圓自動(dòng)化搬運(yùn)機(jī)械手、晶圓校準(zhǔn)設(shè)備 二、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì) 01、實(shí)時(shí)提供測(cè)量參數(shù) 能夠?qū)崟r(shí)提供測(cè)量參數(shù)，使得操作人員可以快速調(diào)整和優(yōu)化生產(chǎn)流程...
瑞樂(lè)半導(dǎo)體 AVS 晶圓型振動(dòng)量測(cè)片 AVS晶圓型振動(dòng)量測(cè)片通過(guò)專業(yè)技術(shù)將多個(gè)傳感器模塊集成到晶圓上，在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，利用AVS三軸加速度對(duì)晶圓、晶圓傳輸盒、晶圓裝載與檢測(cè)集成裝置SMIF以及晶圓盒FOUP的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行觀察和優(yōu)化，通過(guò)適用于真空環(huán)境的AVS實(shí)時(shí)震動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)在不中斷機(jī)臺(tái)操作狀態(tài)下監(jiān)測(cè)晶圓的滑動(dòng)、滑移、碰撞、刮傷和粗暴搬運(yùn)情況，當(dāng)檢測(cè)到晶...
TC Wafer （溫度傳感器晶圓）的相關(guān)信息可以從行業(yè)和產(chǎn)品兩個(gè)維度進(jìn)行介紹： 行業(yè)信息 TC Wafer在半導(dǎo)體行業(yè)中扮演著至關(guān)重要的角色。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，溫度是一個(gè)至關(guān)重要的參數(shù)，因?yàn)闇囟瓤刂茖?duì)于保證良好的晶圓質(zhì)量和性能非常重要。TC Wafer測(cè)溫系統(tǒng)具有高精度、快速響應(yīng)、寬溫度范圍和高穩(wěn)定性等特點(diǎn)，讓制造商可以在晶圓加工的不同階段進(jìn)行實(shí)時(shí)溫度監(jiān)...
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，溫度控制是確保產(chǎn)品質(zhì)量和性能的關(guān)鍵因素。瑞樂(lè)半導(dǎo)體，作為這一領(lǐng)域的佼佼者，以其創(chuàng)新的晶圓測(cè)溫系統(tǒng)—— TC Wafer ，為行業(yè)樹(shù)立了新的標(biāo)桿。 TC Wafer ，作為瑞樂(lè)半導(dǎo)體的核心產(chǎn)品，是一種高精度、強(qiáng)穩(wěn)定性的晶圓測(cè)溫設(shè)備。它采用先進(jìn)的熱電偶技術(shù)，將傳感器嵌入晶圓表層，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)和記錄晶圓在制造過(guò)程中的溫度波動(dòng)。這種技術(shù)不僅提高了測(cè)...
晶圓測(cè)溫系統(tǒng) 是一種用于精確測(cè)量半導(dǎo)體晶圓表面溫度的設(shè)備，對(duì)于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的溫度控制至關(guān)重要。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展，晶圓溫度的控制和測(cè)量變得越來(lái)越重要，晶圓測(cè)溫系統(tǒng)也隨之不斷進(jìn)步和完善。 晶圓測(cè)溫系統(tǒng)采用熱電偶或熱電阻作為傳感器，通過(guò)測(cè)量傳感器產(chǎn)生的電壓或電阻值，計(jì)算出晶圓表面的溫度。系統(tǒng)還可以通過(guò)溫度補(bǔ)償算法消除環(huán)境溫度的影響，從而獲得更準(zhǔn)確的溫度...
TC Wafer：半導(dǎo)體溫度管理的創(chuàng)新先鋒 在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，微小的溫度變化都可能對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生重大影響。因此，溫度管理一直是半導(dǎo)體制造過(guò)程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。廣東瑞樂(lè)半導(dǎo)體科技有限公司推出的TC Wafer，正是這一領(lǐng)域的創(chuàng)新之作，為半導(dǎo)體制造的溫度管理帶來(lái)了全新的解決方案。 TC Wafer TC Wafer是一款集成了高精度、強(qiáng)穩(wěn)定性和卓越耐溫性的晶圓測(cè)溫系...
在半導(dǎo)體制造這一精密而復(fù)雜的領(lǐng)域，溫度管理無(wú)疑扮演著至關(guān)重要的角色。微小的溫度變化都可能對(duì)最終產(chǎn)品的性能和可靠性產(chǎn)生深遠(yuǎn)影響。因此，如何高效、準(zhǔn)確地監(jiān)控和調(diào)節(jié)制造過(guò)程中的溫度，成為了半導(dǎo)體企業(yè)需要解決的關(guān)鍵問(wèn)題。 TC Wafer ，作為廣東瑞樂(lè)半導(dǎo)體科技有限公司推出的一款革命性產(chǎn)品，正是為解決這一難題而生。這款產(chǎn)品憑借其獨(dú)特的設(shè)計(jì)理念和卓越的技術(shù)性能，正在...
在半導(dǎo)體行業(yè)的精密制造舞臺(tái)上，溫度控制是決定產(chǎn)品性能與可靠性的關(guān)鍵因素。廣東瑞樂(lè)半導(dǎo)體科技有限公司，作為晶圓測(cè)溫系統(tǒng)的創(chuàng)新先鋒，其 TC Wafer 產(chǎn)品正引領(lǐng)著半導(dǎo)體行業(yè)溫度管理的新潮流。 TC Wafer ，這一集高精度、強(qiáng)穩(wěn)定性與卓越耐溫性于一體的測(cè)溫解決方案，通過(guò)將耐高溫?zé)犭娕紓鞲衅髑擅钋度刖A表層，實(shí)現(xiàn)了對(duì)晶圓制程中溫度波動(dòng)的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與精準(zhǔn)記錄。在...
在半導(dǎo)體制造這一高度精密且日新月異的行業(yè)中，溫度管理扮演著至關(guān)重要的角色。廣東瑞樂(lè)半導(dǎo)體科技有限公司，憑借其在晶圓測(cè)溫技術(shù)領(lǐng)域的深厚積累與持續(xù)創(chuàng)新，正引領(lǐng)著行業(yè)邁向更高效、更精準(zhǔn)的新時(shí)代。其核心產(chǎn)品—— TC Wafer 晶圓測(cè)溫系統(tǒng)，無(wú)疑是這一技術(shù)革新的杰出代表。 TC Wafer 晶圓測(cè)溫系統(tǒng) ，是瑞樂(lè)半導(dǎo)體自主研發(fā)的一項(xiàng)革命性技術(shù)。該系統(tǒng)創(chuàng)造性地將耐高...
