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晶圓測(cè)溫系統(tǒng)利用自主研發(fā)的核心技術(shù)將傳感器、 RTD 或熱電偶集成到晶圓表面，實(shí)時(shí)監(jiān)控和記錄晶圓在制程過(guò)程中的溫度變化數(shù)據(jù)，為半導(dǎo)體制造過(guò)程提供一種高效可靠的方式來(lái)監(jiān)測(cè)和優(yōu)化關(guān)鍵的工藝參數(shù)，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良率。