什么叫探針臺(tái)？

探針臺(tái)是放置晶圓然后進(jìn)行溫度控制的平臺(tái)。它一般配備有很多微細(xì)探針，用以與晶圓表層的指定區(qū)域觸碰，并進(jìn)行溫度測(cè)量和電性能測(cè)試。【TC Wafer】

探針臺(tái)的運(yùn)行基本原理取決于通過(guò)探針與被測(cè)器件上的PAD點(diǎn)精準(zhǔn)對(duì)位，并實(shí)現(xiàn)測(cè)試機(jī)輸出激勵(lì)信號(hào)的互通與信號(hào)反饋，最后獲取和采集測(cè)試數(shù)據(jù)。高低溫真空探針臺(tái)能夠很好的滿足極低溫測(cè)試和高溫?zé)o氧化測(cè)設(shè)。在整體測(cè)試過(guò)程中，工程師們向往以最快的時(shí)間獲取可信賴的測(cè)試數(shù)據(jù)。

高低溫晶圓探針臺(tái)要確保

1）溫度的均勻穩(wěn)定性；為晶圓測(cè)試提供精確的溫度環(huán)境，既反應(yīng)探針臺(tái)機(jī)械的穩(wěn)定性，又是影響測(cè)試數(shù)據(jù)真實(shí)結(jié)果的關(guān)鍵；

2）升降溫速率；探針臺(tái)的升降溫速率是一項(xiàng)關(guān)鍵的指標(biāo)。低溫測(cè)試時(shí)，防止空氣中水蒸氣在樣品上凝結(jié)成露水，從而減少漏電過(guò)大或探針沒(méi)法觸碰電極而使測(cè)試失敗。與此同時(shí)，在真空環(huán)境中，傳熱的形式影響下，能更高效的提高制冷效率。高溫測(cè)試時(shí)，在真空環(huán)境下，也可以最大限度地減少樣品氧化，從而減少樣品電性誤差、物理和機(jī)械上的形變。

【TC Wafer】

瑞樂(lè)科技TC-Wafer高低溫探針臺(tái)晶圓測(cè)溫系統(tǒng)應(yīng)用于高低溫晶圓探針臺(tái)，測(cè)量精度可達(dá)mk級(jí)別，可以多區(qū)測(cè)量晶圓特定位置的溫度真實(shí)值，也可以精準(zhǔn)描繪晶圓整體的溫度分布狀況，還能夠監(jiān)控半導(dǎo)體行業(yè)控溫環(huán)節(jié)中晶圓所發(fā)生的溫度變化，了解升溫、降溫以及恒溫環(huán)節(jié)中設(shè)備實(shí)效性。

瑞樂(lè)科技還提供了整個(gè)試驗(yàn)室流程的有線溫度計(jì)量，保證溫度傳感器的長(zhǎng)期測(cè)量精度。

廣東瑞樂(lè)科技專注于高精度溫測(cè)、溫控設(shè)備的生產(chǎn)和研發(fā)定做，為半導(dǎo)體行業(yè)提供科學(xué)的國(guó)產(chǎn)解決方法，更多有關(guān)TC Wafer咨詢請(qǐng)關(guān)注瑞樂(lè)官網(wǎng)。