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【快速退火爐】了解快速退火爐維修需要注意什么

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快速退火爐】以碘鎢燈管為發(fā)熱元件,升溫速度極快,用S型熱電偶測(cè)溫并采用模糊PID控制,具有較高的控溫精度<±5℃>,快速退火爐具有真空裝置,可以在多種氣氛下工作。

下面讓我們一起來(lái)了解一下快速退火爐維修常見(jiàn)問(wèn)題吧

1.爐子*使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后,要在120℃左右烘烤1小時(shí),在300℃左右烘烤2小時(shí)后用,避免損壞爐膛開(kāi)裂。爐溫最好不要超過(guò)額定溫度,避免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各類液體及溶解金屬,保證爐內(nèi)的清潔。

2.爐膛若采用石英管,當(dāng)溫度超過(guò)1000℃時(shí),石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,這叫失透(又叫析晶性)是連熔石英管的一個(gè)固有缺陷,屬正常現(xiàn)象。

快速退火爐

3.冷爐使用的時(shí)候,由于爐膛是冷的,須大量吸熱,因此低溫段升溫速率不宜太快,各溫度段的升溫速率差別不宜太大,設(shè)定升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐管。快速退火爐

4.應(yīng)定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接,保證接觸良好,并特別留意加熱元件各連接點(diǎn)的緊固具體情況。

5.爐子用過(guò)一段時(shí)間后,若真空度降低,可分別更換不銹鋼法蘭盤(pán)間的耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭盤(pán)或更換修理真空系統(tǒng),以提升系統(tǒng)的整體真空度。

6.爐子在工作的時(shí)候,一般是在300℃左右若控制偏差還不能消除,發(fā)生溫度顯示值與程序給定值不符或擺動(dòng)太大,檢查參數(shù)"M5、P、t"設(shè)定是否。快速退火爐

7.此爐適用于以下工作條件:

(1)環(huán)境溫度在-10~75℃之間。

(2)周圍環(huán)境濕度不超過(guò)85%。

(3)爐子周圍沒(méi)有導(dǎo)電塵埃,爆炸性氣體及嚴(yán)重破壞金屬和絕緣材料的腐蝕性氣體。

(4)沒(méi)有明顯傾斜﹑振動(dòng)顛簸。

廣東瑞樂(lè)科技專注于高精度溫測(cè)、溫控設(shè)備的生產(chǎn)和研發(fā)定做,為半導(dǎo)體行業(yè)提供科學(xué)的國(guó)產(chǎn)解決方法,更多有關(guān)TC Wafer?晶圓測(cè)溫系統(tǒng)資訊請(qǐng)關(guān)注瑞樂(lè)官網(wǎng)。

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